Anodisches Bonden ist ein Verbindungsverfahren, das besonders bei der Herstellung von Sensoren und mikromechanischen Bauelementen der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zur Anwendung kommt. ==Verfahrensweise== Das Verfahren stellt sich wie folgt dar: Ein Silizium-Wafer mit einer polierten Oberfläche und ein sehr ebener Wafer aus Glas, das Alkalii...